Is cuid thábhachtach den chóras soláthair gáis ard-íonachta é teicneolaíocht píopaí gáis ard-íonachta, arb é an príomhtheicneolaíocht í chun an gás ard-íonachta a theastaíonn a sheachadadh go dtí an pointe úsáide agus fós an caighdeán cáilithe a chothabháil;Áirítear le teicneolaíocht píopaí gáis ard-íonachta dearadh ceart an chórais, roghnú feisteas agus gabhálais, tógáil agus suiteáil, agus tástáil.Le blianta beaga anuas, de bharr na gceanglas atá ag éirí níos déine maidir le hábhar íonachta agus eisíontais na ngás ard-íonachta i dtáirgeadh táirgí micrileictreonaic arna léiriú ag ciorcaid chomhtháite ar scála mór, tá imní agus béim níos mó ar theicneolaíocht phíobáin na ngás ard-íonachta.Seo a leanas forbhreathnú gairid ar phíobáin gháis ard-íonachta ó roghnú ábharof tógáil, chomh maith le glacadh agus bainistíocht laethúil.
Cineálacha gás coitianta
Aicmiú gás coitianta sa tionscal leictreonaic:
Gáis coitianta（Bulc gáis）: hidrigin (H2), nítrigin (N2), ocsaigin (O2), argón (A2), etc.
Gáis speisialtachtaatá SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… srl.
Is féidir na cineálacha gáis speisialta a aicmiú go ginearálta mar chreimneachgás, tocsaineachgás, inadhaintegás, indóitegás, támhgás, etc. Déantar na gáis leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta a aicmiú mar seo a leanas.
(i) Creimneach / tocsaineachgás: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…etc.
(ii) Inadhainteachtgás:h2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… srl.
(iii) indóiteángás: Ó2, Cl2, n2Ó, NF3… srl.
(iv) Támhgás:n2, CF4, c2F6, c4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, sé…etc.
Tá go leor gáis leathsheoltóra díobhálach do chorp an duine.Go háirithe, tá cuid de na gáis seo, mar SiH4 dócháin spontáineach, chomh fada agus a imoibríonn sceitheadh go foréigneach leis an ocsaigin san aer agus tosóidh sé ag dó;agus Ash3an-tocsaineach, féadfaidh aon sceitheadh beag a bheith ina chúis le baol do shaol an duine, tá sé mar gheall ar na contúirtí soiléire seo, agus mar sin tá na ceanglais maidir le sábháilteacht dearadh an chórais go háirithe ard.
Raon feidhme na ngás
Mar amhábhar bunúsach tábhachtach de thionscal nua-aimseartha, úsáidtear táirgí gáis go forleathan, agus úsáidtear líon mór de gháis choitianta nó gáis speisialta i miotalóireacht, cruach, peitriliam, tionscal ceimiceach, innealra, leictreonaic, gloine, criadóireacht, ábhar tógála, tógáil. , earnálacha próiseála bia, míochaine agus leighis.Tá tionchar tábhachtach ag cur i bhfeidhm an gháis ar ardteicneolaíocht na réimsí seo go háirithe, agus is é a ghás amhábhar fíor-riachtanach nó gás próisis.Ní féidir ach le riachtanais agus le cur chun cinn na n-earnálacha tionsclaíocha nua éagsúla agus na heolaíochta agus na teicneolaíochta nua-aimseartha, táirgí an tionscail gháis a fhorbairt de réir a chéile i dtéarmaí éagsúlachta, cáilíochta agus cainníochta.
Feidhmiú gáis sa tionscal micrileictreonaic agus leathsheoltóra
Bhí ról tábhachtach ag úsáid gáis i gcónaí sa phróiseas leathsheoltóra, go háirithe tá an próiseas leathsheoltóra in úsáid go forleathan i dtionscail éagsúla, ón ULSI traidisiúnta, TFT-LCD go dtí an tionscal micrea-leictrimheicniúla (MEMS) atá ann faoi láthair, gach ceann de a úsáideann an próiseas leathsheoltóra mar a thugtar air mar phróiseas déantúsaíochta táirgí.Tá tionchar cinntitheach ag íonacht an gháis ar fheidhmíocht comhpháirteanna agus táirgeacht táirgí, agus baineann sábháilteacht an tsoláthair gáis le sláinte pearsanra agus sábháilteacht oibríochtaí plandaí.
An tábhacht a bhaineann le píopaí ard-íonachta in iompar gáis ard-íonachta
Sa phróiseas leá cruach dhosmálta agus ábhar a dhéanamh, is féidir thart ar 200g de ghás a ionsú in aghaidh an tonna.Tar éis cruach dhosmálta a phróiseáil, ní hamháin go bhfuil a dhromchla greamaitheach le hábhair salaithe éagsúla, ach freisin ina laitíse miotail ionsú méid áirithe gáis.Nuair a bhíonn aer-sreabhadh tríd an bpíblíne, déanfaidh an miotail a ionsú an chuid seo den ghás dul isteach sa sreabhadh aer arís, rud a thruaillíonn an gás íon.Nuair a bhíonn an sreabhadh aer sa fheadán ag sreabhadh neamhleanúnach, adsorbaíonn an feadán an gás faoi bhrú, agus nuair a stopann an sruth aeir a rith, déanann an gás asaithe ag an bhfeadán titim brú a réiteach, agus téann an gás réitithe isteach sa ghás íon sa fheadán freisin. mar eisíontais.Ag an am céanna, déantar an asaithe agus an réiteach arís agus arís eile, ionas go dtáirgeann an miotail ar dhromchla istigh an fheadáin méid áirithe púdar freisin, agus truaillíonn na cáithníní deannaigh miotail seo an gás íon taobh istigh den fheadán freisin.Tá an tréith seo den fheadán riachtanach chun íonacht an gháis a iompraítear a áirithiú, rud a éilíonn ní hamháin go bhfuil réidh an-ard ar dhromchla istigh an fheadáin, ach freisin friotaíocht ard caitheamh.
Nuair a úsáidtear an gás le feidhmíocht láidir creimneach, ní mór píopaí cruach dhosmálta atá resistant creimeadh a úsáid le haghaidh píopaí.Seachas sin, déanfaidh an píopa spotaí creimeadh ar an dromchla istigh mar gheall ar chreimeadh, agus i gcásanna tromchúiseacha, beidh réimse mór de stripping miotail nó fiú bréifnithe ann, rud a éilleoidh an gás íon atá le dáileadh.
Tá rátaí sreafa móra ag baint le nascadh píblínte tarchurtha agus dáileadh gáis ard-íonachta agus ard-glaineachta.
I bprionsabal, tá gach ceann acu táthaithe, agus ní gá go mbeadh aon athrú ar eagraíocht na feadáin a úsáidtear nuair a chuirtear táthú i bhfeidhm.Tá ábhair a bhfuil cion ró-ard carbóin acu faoi réir tréscaoilteacht aeir na gcodanna táthaithe nuair a bhíonn siad ag táthú, rud a fhágann go dtiocfaidh treá frithpháirteach gáis laistigh agus lasmuigh den phíobán agus a scriosann íonacht, triomacht agus glaineacht an gháis tarchurtha, rud a fhágann go gcailltear an gás. ár n-iarrachtaí go léir.
Go hachomair, le haghaidh gás ard-íonachta agus píblíne tarchurtha gáis speisialta, is gá cóireáil speisialta a bhaint as píopa cruach dhosmálta ard-íonachta, chun córas píblíne ard-íonachta a dhéanamh (lena n-áirítear píopaí, feistis, comhlaí, VMB, VMP) i tá misean ríthábhachtach ag dáileadh gáis ard-íonachta.
Coincheap ginearálta na teicneolaíochta glan do phíblínte tarchurtha agus dáileacháin
Ciallaíonn tarchur comhlacht gáis an-íon agus glan le píopaí go bhfuil ceanglais nó rialuithe áirithe ann maidir le trí ghné den ghás a iompar.
íonacht an gháis: Ábhar atmaisféar eisíontais san íonacht gGas: Ábhar an atmaisféar eisíontais sa ghás, arna shloinneadh de ghnáth mar chéatadán den íonacht gáis, mar shampla 99.9999%, arna shloinneadh freisin mar chóimheas toirte ábhar atmaisféar eisíontais ppm, ppb, ppt.
Triomacht: an méid rian taise sa ghás, nó an méid ar a dtugtar fliuchtacht, arna shloinneadh de ghnáth i dtéarmaí pointe drúcht, mar shampla brú an atmaisféir pointe drúcht -70.c.
Glaineacht: líon na gcáithníní éillithe atá sa ghás, méid na gcáithníní µm, cé mhéad cáithníní/M3 le cur in iúl, don aer comhbhrúite, de ghnáth curtha in iúl freisin i dtéarmaí cé mhéad mg/m3 d'iarmhair soladach dosheachanta, a chlúdaíonn an cion ola .
Aicmiú méid truailleán: cáithníní truailleán, tagraíonn go príomha le sciúradh píblíne, caitheamh, creimeadh a ghintear le cáithníní miotail, cáithníní súiche atmaisféarach, chomh maith le microorganisms, phages agus braoiníní comhdhlúthúcháin gáis ina bhfuil taise, etc., de réir mhéid a mhéid na gcáithníní. roinnte ina
a) Cáithníní móra – méid na gcáithníní os cionn 5μm
b) Cáithnín – trastomhas ábhair idir 0.1μm-5μm
c) Cáithníní ultra-micrea – méid na gcáithníní níos lú ná 0.1μm.
D'fhonn cur i bhfeidhm na teicneolaíochta seo a fheabhsú, chun tuiscint aireachtála a fháil ar mhéid na gcáithníní agus aonaid μm, soláthraítear sraith de stádas cáithníní ar leith le haghaidh tagartha
Seo a leanas comparáid idir cáithníní sonracha
| Ainm / Méid na gcáithníní (µm) | Ainm / Méid na gcáithníní (µm) | Ainm/ Méid na gcáithníní (µm) |
| Víreas 0.003-0.0 | Aerasól 0.03-1 | Microdroplet aerasóilithe 1-12 |
| Breosla núicléach 0.01-0.1 | Péinteáil 0.1-6 | Fuinseog eitilt 1-200 |
| Carbón dubh 0.01-0.3 | Púdar bainne 0.1-10 | Lotnaidicíd 5-10 |
| Roisín 0.01-1 | Baictéir 0.3-30 | deannach stroighne 5-100 |
| Deatach toitíní 0.01-1 | Deannach gaineamh 0.5-5 | Pailin 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Lotnaidicíd 0.5-10 | Gruaig dhaonna 50-120 |
| Salann criostalaithe 0.03-0.5 | Deannach sulfair tiubhaithe 1-11 | Gaineamh farraige 100-1200 |
Am postála: Meitheamh-14-2022