Is cuid thábhachtach de chóras soláthair gáis ard-íonachta í teicneolaíocht phíobaireachta gáis ard-íonachta, arb é an príomhtheicneolaíocht é chun an gás ard-íonachta riachtanach a sheachadadh go dtí an pointe úsáide agus an caighdeán cáilithe a choinneáil fós; Cuimsíonn teicneolaíocht phíobaireachta gáis ard-íonachta dearadh ceart an chórais, roghnú feistis agus gabhálais, tógáil agus suiteáil, agus tástáil. Le blianta beaga anuas, mar gheall ar na riachtanais atá ag éirí níos déine ar ábhar íonachta agus neamhíonachta na ngás ard-íonachta i dtáirgeadh táirgí micrileictreonaic a léirítear le ciorcaid chomhtháite ar scála mór, tá baint níos mó ag teicneolaíocht phíobaireachta gáis ard-íonachta agus béim orthu. Seo a leanas forbhreathnú gairid ar phíobaireacht gháis ard-íonachta ó roghnú ábhairof tógáil, chomh maith le glacadh agus bainistíocht laethúil.
Cineálacha gás coitianta
Aicmiú gás coitianta sa tionscal leictreonaiceIty
Gáis choiteanna（Gás mórchóir）: hidrigin (h2), nítrigin (n2), ocsaigin (o2), Argón (a2), etc.
Gáis speisialtachtaatá sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,PoCL3, SIH2CL2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,Sif4 ,CLF3 ,Tosaigh,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Is féidir na cineálacha gás speisialta a rangú de ghnáth mar chreimneachgás, tocsaineachgás, inadhaintegás, indóitegás, táimhegás, etc. Is iondúil go n -aicmítear na gáis leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta mar seo a leanas.
(i) creimneach / tocsaineachgás: HCL, BF3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3,, Ph3, Cl2, BCL3… Srl.
(ii) Inadhainteachtgás: H.2,, Ch4, Sih4,, Ph3, Ash3, Sih2Cl2,, B2H6, CH2F2,A3F, co… srl.
(iii) Indóiteachtgás: O2, Cl2, N2O, NF3… Etc.
(iv) támhgás: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, sé… srl.
Tá go leor gás leathsheoltóra díobhálach do chorp an duine. Go háirithe, cuid de na gáis seo, mar SIH4 Dóchán spontáineach, fad is a imoibreoidh sceitheadh go foréigneach leis an ocsaigin san aer agus go dtosóidh sé ag sruthán; agus fuinseog3Tá sé an -tocsaineach, d'fhéadfadh aon sceitheadh beag a bheith mar thoradh ar an mbaol a bhaineann le saol an duine, tá sé mar gheall ar na contúirtí soiléire seo, mar sin tá na riachtanais maidir le sábháilteacht an chórais an -ard.
Scóip an iarratais ar ghás
Mar amhábhar bunúsach tábhachtach de thionscal nua -aimseartha, úsáidtear táirgí gáis go forleathan, agus úsáidtear líon mór gás coitianta nó gáis speisialta i miotalóireacht, cruach, peitriliam, tionscal ceimiceach, innealra, leictreonaic, gloine, criadóireacht, ábhair thógála, tógáil, próiseáil bia, leigheas agus earnálacha leighis. Bíonn tionchar tábhachtach ag cur i bhfeidhm an gháis ar ardteicneolaíocht na réimsí seo go háirithe, agus is é an gás nó an gás próiseála amhábhar atá fíor -riachtanach. Ach amháin le riachtanais agus le cur chun cinn na n -earnálacha tionsclaíocha nua agus na heolaíochta agus na teicneolaíochta nua -aimseartha, is féidir na táirgí tionscail gáis a fhorbairt ag leaps agus teorannacha i dtéarmaí éagsúlachta, cáilíochta agus cainníochta.
Feidhm Gáis i Micrileictreonaic agus Tionscal Leathsheoltóra
Bhí ról tábhachtach i gcónaí ag úsáid gáis sa phróiseas leathsheoltóra, go háirithe an próiseas leathsheoltóra a úsáideadh go forleathan i dtionscail éagsúla, ón tionscal traidisiúnta ULSI, TFT-LCD go dtí an tionscal micrea-leictreach-meicniúil reatha (MEMS), a úsáideann an próiseas leathsheoltóra mar a thugtar air mar phróiseas déantúsaíochta táirgí. Bíonn tionchar cinntitheach ag íonacht an gháis ar fheidhmíocht na gcomhpháirteanna agus na dtorthaí táirge, agus baineann sábháilteacht an tsoláthair gháis le sláinte pearsanra agus le sábháilteacht oibríochtaí plandaí.
An tábhacht a bhaineann le píobaireacht ard-íonachta in iompar gáis ard-íonachta
Sa phróiseas leá agus ábhar déanta cruach dhosmálta, is féidir thart ar 200g gáis a shú isteach in aghaidh an tonna. Tar éis próiseáil cruach dhosmálta, ní hamháin go raibh a dhromchla greamaitheach le hábhair shalaithe éagsúla, ach freisin ina laitíse miotail, chomh maith le méid áirithe gáis. Nuair a bhíonn aershreabhadh ann tríd an bpíblíne, ionsúnn an mhiotal an chuid seo den ghás a athiontráil isteach san aer-sreabhadh, ag truailliú an gháis íon. Nuair a bhíonn an t -aer -sreabhadh san fheadán neamhleanúnach, cuireann an feadán an gás faoi bhrú, agus nuair a stopann an t -aer -sreabhadh, cruthaíonn an gás a asbhaint leis an bhfeadán titim brú chun réiteach, agus téann an gás réitithe isteach sa ghás íon san fheadán mar eisíontais freisin. Ag an am céanna, déantar an asaithe agus an réiteach a athdhéanamh, ionas go dtáirgeann an miotal ar dhromchla istigh an fheadáin méid áirithe púdair, agus truaillíonn an cáithníní deannaigh miotail seo an gás íon taobh istigh den fheadán. Tá an tréith seo den fheadán riachtanach chun íonacht an gháis iompair a chinntiú, rud a éilíonn ní hamháin go bhfuil réidh an -ard de dhromchla istigh an fheadáin, ach freisin friotaíocht ard -chaitheamh.
Nuair a úsáidtear an gás le feidhmíocht láidir creimneach, ní mór píopaí cruach dhosmálta atá frithsheasmhach in aghaidh creimthe a úsáid le haghaidh píobaireachta. Seachas sin, tabharfaidh an píopa spotaí creimthe ar an dromchla istigh mar gheall ar chreimeadh, agus i gcásanna tromchúiseacha, beidh achar mór de stripping miotail nó fiú amháin, a dhéanfaidh an gás íon atá le dáileadh.
Ceangal na bpíblínte tarchurtha agus dáilte gáis ard-íonachta agus ard-ghlaineachta de rátaí sreafa móra.
I bprionsabal, tá gach ceann acu táthaithe, agus ceanglaítear ar na feadáin a úsáidtear aon athrú ar an eagraíocht nuair a chuirtear táthú i bhfeidhm. Tá ábhair le hábhar atá ró -ard carbóin faoi réir tréscaoilteacht aeir na gcodanna táthaithe nuair a bhíonn an táthú, a fhágann go bhfuil treá frithpháirteach na ngás taobh istigh agus taobh amuigh den phíopa agus go scriosann sé íonacht, triomacht agus glaineacht an gháis tarchurtha, rud a fhágann go gcailltear ár n -iarrachtaí go léir.
Go hachomair, i gcás píblíne gás ard-íonachta agus píblíne tarchuir gháis speisialta, is gá cóireáil speisialta a úsáid ar phíobán cruach dhosmálta ard-íonachta, chun córas píblíne ard-íonachta a dhéanamh (lena n-áirítear píopaí, feistis, comhlaí, VMB, VMP) i ndáileadh gáis ard-íonachta.
Coincheap ginearálta na teicneolaíochta glana le haghaidh píblínte tarchuir agus dáilte
Ciallaíonn tarchur an -íon agus ghlan gáis le píobaireacht go bhfuil riachtanais nó rialuithe áirithe ann do thrí ghné den ghás atá le hiompar.
Íonacht gháis: ábhar an atmaisféir neamhíonachta sa íonacht GGA: ábhar an atmaisféir neamhíonachta sa ghás, a chuirtear in iúl de ghnáth mar chéatadán de íonacht gháis, amhail 99.9999%, a chuirtear in iúl freisin mar chóimheas toirte an ábhair atmaisféir neamhíonachta PPM, PPB, PPT.
Tirimness: an méid taise a rianú sa ghás, nó an méid ar a dtugtar fliuch, a chuirtear in iúl de ghnáth i dtéarmaí pointe drúchta, amhail pointe drúcht brú atmaisféarach -70. C.
Glaineacht: Líon na gcáithníní éillithe atá sa ghás, méid na gcáithníní de µm, cé mhéad cáithnín/m3 atá le cur in iúl, le haghaidh aer comhbhrúite, a chuirtear in iúl de ghnáth i dtéarmaí cé mhéad mg/m3 d'iarmhair sholadacha dosheachanta, a chlúdaíonn an t -ábhar ola.
Aicmiú Méid Truailleáin: Tagraíonn cáithníní truailleán, go príomha do sciúradh píblíne, caitheamh, creimeadh a ghintear trí cháithníní miotail, cáithníní súiche atmaisféaracha, chomh maith le miocrorgánaigh, faga agus braoiníní comhdhlúthúcháin gáis ina bhfuil taise, etc.
a) Cáithníní móra - Méid na gcáithníní os cionn 5μm
b) cáithníní-trastomhas ábhair idir 0.1μm-5μm
c) cáithníní ultra-micro-méid na gcáithníní níos lú ná 0.1μm.
D'fhonn cur i bhfeidhm na teicneolaíochta seo a fheabhsú, le go mbeifeá in ann tuiscint aireachtála a dhéanamh ar mhéid na gcáithníní agus aonaid μM, cuirtear sraith stádas cáithníní ar leith ar fáil le haghaidh tagartha
Seo a leanas comparáid idir cáithníní sonracha
| Ainm /Méid na gCáithníní (µm) | Ainm /Méid na gCáithníní (µm) | Ainm/ Méid na gcáithníní (µm) |
| Víreas 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet Aerosolized 1-12 |
| Breosla Núicléach 0.01-0.1 | Péint 0.1-6 | Fuinseog Eitilte 1-200 |
| Carbón dubh 0.01-0.3 | Púdar Bainne 0.1-10 | Lotnaidicíd 5-10 |
| Roisín 0.01-1 | Baictéir 0.3-30 | Deannach stroighne 5-100 |
| Deatach toitíní 0.01-1-1 | Dust gaineamh 0.5-5 | Pailin 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Lotnaidicíd 0.5-10 | Gruaige daonna 50-120 |
| Salann criostalaithe 0.03-0.5 | Deannach sulfair tiubhaithe 1-11 | Gaineamh farraige 100-1200 |
Am Post: Meitheamh-14-2022