I monarú leathsheoltóra, déanann gáis an obair go léir agus faigheann léasair an aird ar fad. Cé go ndéanann léasair patrúin trasraitheora eitse isteach i sileacain, is é an t -eitse a thaisceann an sileacain ar dtús agus a bhriseann síos an léasair chun ciorcaid iomlána a dhéanamh. Ní haon ionadh é go bhfuil na gáis seo, a úsáidtear chun micreaphróiseálaithe a fhorbairt trí phróiseas ilchéime, ar íonacht ard. Chomh maith leis an teorannú seo, tá imní agus teorainneacha eile ag go leor acu. Tá cuid de na gáis crióigineach, tá cuid eile creimneach, agus tá daoine eile an -tocsaineach fós.
Ar an iomlán, is dúshlán mór é na teorainneacha seo a dhéanann na córais dáileacháin gháis déantúsaíochta don tionscal leathsheoltóra. Tá sonraíochtaí ábhair éilitheach. Chomh maith le sonraíochtaí ábhair, is eagar casta leictrimheicniúil de chórais idirnasctha é eagar dáilte gáis. Tá na timpeallachtaí ina bhfuil siad le chéile casta agus forluí. Tarlaíonn an monarú deiridh ar an suíomh mar chuid den phróiseas suiteála. Cuidíonn táthú fithiseach le riachtanais dáilte gáis ard -sonraíochta a chomhlíonadh agus ag an am céanna déantar monarú i dtimpeallachtaí daingean agus dúshlánacha níos soláimhsithe.
Conas a úsáidtear gáis sa tionscal leathsheoltóra
Sula ndéantar iarracht córas dáilte gáis a phleanáil, is gá na bunghnéithe a bhaineann le déantúsaíocht leathsheoltóra a thuiscint ar a laghad. Ag a chroílár, úsáideann leathsheoltóirí gáis chun solaid gar-eiliminteacha a thaisceadh ar dhromchla ar bhealach an-rialaithe. Déantar na solaid taiscthe seo a mhodhnú ansin trí gháis bhreise, léasair, etchants ceimiceacha agus teas a thabhairt isteach. Is iad na céimeanna sa phróiseas leathan ná:
Sil -leagan: Is é seo an próiseas chun an chéad sliseog sileacain a chruthú. Déantar gáis réamhtheachtaithe sileacain a phumpáil isteach i seomra sil -leagan i bhfolús agus cruthaíonn siad sliseoga sileacain tanaí trí idirghníomhaíochtaí ceimiceacha nó fisiciúla.
Photolithography: Tagraíonn an rannóg grianghraf do léasair. Sa speictream liteagrafaíochta ultraivialait (EUV) is airde a úsáidtear chun na sliseanna sonraíochta is airde a dhéanamh, úsáidtear léasair dé -ocsaíde carbóin chun an ciorcad micreaphróiseálaí a chur isteach sa sliseog.
Etching: Le linn an phróisis eitseáil, déantar gás halaigine-charbóin a phumpáil isteach sa seomra chun ábhair roghnaithe a ghníomhachtú agus a dhíscaoileadh sa tsubstráit sileacain. Cuireann an próiseas seo an ciorcad clóite léasair ar an tsubstráit go héifeachtach.
Dópáil: Is céim bhreise é seo a athraíonn seoltacht an dromchla eitseáilte chun na coinníollacha beachta faoina ndéanann an leathsheoltóir a chinneadh.
Annealing: Sa phróiseas seo, spreagann brú agus teocht ardaithe imoibrithe idir sraitheanna sliseog. Go bunúsach, críochnaíonn sé torthaí an phróisis roimhe seo agus cruthaíonn sé an próiseálaí críochnaithe sa sliseog.
Glanadh an tseomra agus na líne: Is minic a bhíonn na gáis a úsáidtear sna céimeanna roimhe seo, go háirithe eitseáil agus dópáil, an -tocsaineach agus imoibríoch. Dá bhrí sin, ní mór an seomra próisis agus na línte gáis a bheathú é a líonadh le gáis neodraithe chun frithghníomhartha dochracha a laghdú nó a dhíothú, agus ansin iad a líonadh le gáis támh chun cosc a chur ar aon ghás truaillithe ón timpeallacht lasmuigh.
Is minic a bhíonn córais dáilte gáis sa tionscal leathsheoltóra casta mar gheall ar an iliomad gás éagsúil atá i gceist agus an rialú daingean ar shreabhadh gáis, ar theocht agus ar bhrú nach mór a choinneáil le himeacht ama. Tá sé seo casta níos mó ag an íonacht ard-ard a theastaíonn do gach gás sa phróiseas. Ní mór na gáis a úsáideadh sa chéim roimhe seo a shruthlú amach as na línte agus na seomraí nó neodraítear iad ar shlí eile sula dtosóidh an chéad chéim eile den phróiseas. Ciallaíonn sé seo go bhfuil líon mór línte speisialaithe, comhéadain idir córais feadán táthaithe agus píobáin, comhéadain idir píobáin agus feadáin agus rialtóirí gáis agus braiteoirí, chomh maith le comhéadain idir na comhpháirteanna agus na comhlaí agus na comhlaí a luadh roimhe seo agus córais séalaithe atá deartha chun cosc a chur ar éilliú píblíne an tsoláthair gáis nádúrtha a mhalartú.
Ina theannta sin, beidh córais soláthair gháis i dtimpeallachtaí an tseomra glana agus i gceantair theoranta speisialaithe chun aon ghuaiseacha a mhaolú i gcás sceitheadh de thaisme. Ní tasc éasca é na córais gháis seo a tháthú i dtimpeallacht chomh casta sin. Mar sin féin, le cúram, aird ar mhionsonraí agus an trealamh ceart, is féidir an tasc seo a chur i gcrích go rathúil.
Déantúsaíocht Córais Dáileacháin Gáis sa Tionscal Leathsheoltóra
Tá na hábhair a úsáidtear i gcórais dáilte gáis leathsheoltóra an -athraitheach. Féadann siad rudaí cosúil le píopaí miotail agus píobáin a bhfuil líneáilte ag PTFE orthu a chur san áireamh chun gás an-chreimneach a chomhrac. Is é an t -ábhar is coitianta a úsáidtear chun píobaireacht ghinearálta sa tionscal leathsheoltóra ná 316L cruach dhosmálta - leagan cruach dhosmálta íseal -charbóin. Nuair a thagann sé go 316L i gcomparáid le 316, tá 316L níos frithsheasmhaí do chreimeadh idirghrálach. Is breithniú tábhachtach é seo agus é ag déileáil le raon gáis an -imoibríocha agus a d'fhéadfadh a bheith so -ghalaithe ar féidir leo carbón a chreimeadh. Táthú 316L Scaoileann cruach dhosmálta níos lú ná carbóin níos lú. Laghdaíonn sé freisin an poitéinseal a bhaineann le creimeadh teorann gráin, rud a d'fhéadfadh creimeadh a chealú i gcriosanna táthaithe agus teasa a bhfuil tionchar acu orthu.
Chun an fhéidearthacht a bhaineann le creimeadh píobaireachta a laghdú as a dtiocfaidh creimeadh agus éilliú ar líne táirge, is é 316L cruach dhosmálta táthaithe le gás íon argón gás agus ráillí gás tungstan atá sciath ar an gcaighdeán sa tionscal leathsheoltóra. An t -aon phróiseas táthúcháin a sholáthraíonn an rialú is gá chun timpeallacht ard íonachta a choinneáil i bpíobán próisis. Ní sholáthraíonn táthú fithiseach uathoibrithe ach an rialú próisis in -athdhéanta a theastaíonn chun an táthú a chomhlánú i monarú na gcóras dáilte gáis leathsheoltóra. Is buntáiste suntasach den phróiseas é an fhíric gur féidir le cinn táthaithe fithise faoi iamh freastal ar na spásanna plódaithe agus deacra ag crosbhealaí casta idir limistéir phróisis.
Shenzhen Wofei Technology Co. Ní hamháin gur féidir linn raon leathan comhlaí agus feistis a sholáthar do gháis speisialtachta leictreonacha leathsheoltóra, ach freisin dearadh píobaireachta gáis agus suiteáil trealaimh dár gcustaiméirí.
Am Post: JUL-31-2023