Tá gáis íonachta ultra-ard riachtanach ar fud an tslabhra soláthair leathsheoltóra. Go deimhin, i gcás fab tipiciúil, is iad gáis ard-íonachta an costas ábhair is mó tar éis sileacain féin. I ndiaidh an ghanntanas sliseanna domhanda, tá an tionscal ag leathnú níos tapúla ná riamh - agus tá an t -éileamh ar gháis ard íonachta ag dul i méid.
Is iad na gás -gháis is coitianta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ná nítrigin, héiliam, hidrigin agus argón.
Nitrogoigin
Is ionann nítrigin agus 78% dár n -atmaisféar agus tá sé thar a bheith flúirseach. Tarlaíonn sé freisin go bhfuil sé go ceimiceach agus go bhfuil sé neamh-sheolta. Mar thoradh air sin, tá nítrigin tar éis a bhealach a dhéanamh i roinnt tionscal mar ghás támh cost-éifeachtach.
Is tomhaltóir mór nítrigine é an tionscal leathsheoltóra. Táthar ag súil go n -úsáidfidh gléasra déantúsaíochta leathsheoltóra nua -aimseartha suas le 50,000 méadar ciúbach de nítrigin in aghaidh na huaire. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, feidhmíonn nítrigine mar chuspóir ginearálta gás a thástáil agus a ghlanadh, ag cosaint sliseoga sileacain íogaire ó ocsaigin imoibríoch agus taise san aer.
Héiliam
Is gás támh é Helium. Ciallaíonn sé seo, cosúil le nítrigin, go bhfuil héiliam támh go ceimiceach - ach tá buntáiste breise aige freisin as seoltacht ard teirmeach. Tá sé seo thar a bheith úsáideach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, rud a ligeann dó teas a dhéanamh go héifeachtach ó phróisis ardfhuinnimh agus cabhrú leo iad a chosaint ó dhamáiste teirmeach agus as imoibrithe ceimiceacha nach dteastaíonn.
Hidrigin
Úsáidtear hidrigin go forleathan ar fud an phróisis déantúsaíochta leictreonaice, agus ní haon eisceacht é táirgeadh leathsheoltóra. Go háirithe, úsáidtear hidrigin le haghaidh:
Annealing: De ghnáth déantar sliseoga sileacain a théamh go teochtaí arda agus déantar iad a fhuarú go mall chun an struchtúr criostail a dheisiú (anneal). Úsáidtear hidrigin chun teas a aistriú go cothrom chuig an sliseog agus chun cuidiú leis an struchtúr criostail a atógáil.
Epitaxy: Úsáidtear hidrigin íonachta ard-ard mar ghníomhaire laghdaithe i sil-leagan eipiciúil na n-ábhar leathsheoltóra amhail sileacain agus Gearmáiniam.
Sil -leagan: Is féidir hidrigin a dhóiteán i scannáin sileacain chun a struchtúr adamhach a dhéanamh níos mí -eagraithe, ag cuidiú le friotachas a mhéadú.
Glanadh Plasma: Tá plasma hidrigine an -éifeachtach chun éilliú stáin a bhaint as foinsí solais a úsáidtear i liteagrafaíocht UV.
Mangrán
Is gás uasal eile é Argón, mar sin taispeánann sé an t -imoibríocht íseal céanna le nítrigin agus héiliam. Mar sin féin, tá fuinneamh ianúcháin íseal Argon úsáideach i bhfeidhmchláir leathsheoltóra. Mar gheall ar a éascaíocht choibhneasta ianaithe, úsáidtear Argón go coitianta mar phríomhghás plasma le haghaidh imoibrithe etch agus sil -leagan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Ina theannta sin, úsáidtear Argon freisin i léasair excimer le haghaidh liteagrafaíochta UV.
Cén fáth a mbaineann íonacht le hábhar
Go hiondúil, baineadh amach dul chun cinn i dteicneolaíocht leathsheoltóra trí scálú méide, agus is iad na tréithe nua níos lú ná an ghlúin nua de theicneolaíocht leathsheoltóra. Tugann sé seo buntáistí iomadúla: níos mó trasraitheoirí i dtoirt ar leith, sruthanna feabhsaithe, tomhaltas cumhachta níos ísle agus athrú níos tapúla.
Mar sin féin, de réir mar a laghdaíonn an méid criticiúil, éiríonn feistí leathsheoltóra níos sofaisticiúla. I ndomhan ina mbaineann suíomh na n -adamh aonair, tá tairseacha lamháltais locht an -teann. Mar thoradh air sin, éilíonn próisis leathsheoltóra nua -aimseartha gáis phróisis leis an íonacht is airde is féidir.
Is fiontar ardteicneolaíochta é WOFLY a dhíríonn ar Innealtóireacht ar Chóras Iarratais Gáis: Córas Gáis Speisialta Leictreonach, Córas Ciorcaid Gáis Saotharlainne, Córas Soláthair Gáis Leith Gháis Tionscail, Córas Bulc Gáis (Leachtacha), Córas Píobaireachta Tánaisteach Gáis Próisis Speisialta, Córas Seachadta Ceimicigh, Córas Uisce Pure chun Sraith Innealtóireachta agus Seirbhísí Teicniúla a sholáthar, Seirbhísí Teicniúla agus Pleanáil Teicniúla, Pleanáil, Pleanáil, an PruAbric, an PruAbric, an PruAburabs agus na Táirgí a Preturabled agus an PruAbled a PretAbs agus na Táirgí Réamhrá agus an t-Instabtha agus na Táirgí Réamhrá agus an t-Instabtha agus na Táirgí Réamhrá agus na dtáirgí a bhaineann leis an gComhairle agus na Táirgí Réamhrá agus táirgí táirgí a bheith ann de shuíomh an tionscadail, an tástáil chórais fhoriomlán, cothabháil agus táirgí tacaíochta eile ar bhealach comhtháite.
Am Post: Iúil-11-2023